• 硅基铁电薄膜的制备及电学性能

    硅基铁电薄膜的制备及电学性能

    一、硅基铁电薄膜的制备与电性能研究(论文文献综述)杨翔宇[1](2021)在《硅基铌酸锂铁电单晶异质集成及其薄膜化技术研究》文中提出空间环境参量原位精准测量需将微机电系统(ME...