微机电系统论文

一阶和二阶释放模型在表面微机械中的应用
一、一、二阶释放模型在表面微机械中的应用（论文文献综述）樊波[1]（2020）在《MEMS类蛛网状盘式谐振陀螺结构设计研究》文中提出MEMS振动陀螺是基于科式效应和微机械加工工...