压电薄膜传感器论文

硅基铁电薄膜的制备及电学性能
一、硅基铁电薄膜的制备与电性能研究（论文文献综述）杨翔宇[1]（2021）在《硅基铌酸锂铁电单晶异质集成及其薄膜化技术研究》文中提出空间环境参量原位精准测量需将微机电系统（ME...